Aurora IM-S 离子研磨仪

聚焦氩离子束，加工束流及区域可控，可进行平面研磨、截面处理和定点刻蚀，满足多样化实验需求。

广泛材料的普适性与低损伤特性，作为纯气体冷阴极聚焦离子源，无金属污染风险，为您带来最大限度减少损伤。

卓越的工艺控制与稳定性，为您带来亚纳米级精度的终极超精密抛光，重复性高，为科研与生产提供可靠数据保障。

选配高灵敏度光学+CCD成像显微镜系统，可动态观察研磨过程，避免过度研磨。

配置高精度截面加工平台和平面研磨平台双系统，配合光镜对加工区域进行精准调整。

模块化结构设计，关键部件（如离子源、样品台）易于维护更换，降低使用成本。

全触控人机界面，支持参数自定义存储，操作简便高效。

低能耗运行，氩气消耗量优化，符合绿色实验室标准。

多重安全防护：过压/过流/过热自动保护、真空联锁、紧急泄压阀，确保设备与操作人员安全。